導航
產品信息
特 點
● 最適合工藝過程中的薄膜高速測量
● 最短曝光時間1ms～※根據規格
● 支持遠程測量
● 膜厚測量范圍65nm～92μm（換算為SiO2）
基本配置
多點測量點切換對應系統
在多點測量點切換對應系統中，通過在TD方向預先設置任意寬度的多分支光纖，可以在不驅動光纖的情況下測量TD方向的膜厚分布。可以作為涂層的條件和實時監視器使用。
檢測器和數據處理系統為1式，通過光纖的光路切換可以進行多點測定。
橫動單元對應系統
在橫動單元對應系統中，通過在TD方向上驅動橫動單元，可以以任意寬度和任意間距測量TD方向的膜厚分布。
可以作為涂層條件提出和實時監控使用。 由于通過排線單元的驅動進行多點測量，因此無需準備多臺檢測器和數據處理。
即使在真空環境下也可以在多點進行反射、透射光譜測定
通過使用各種法蘭對應的耐真空纖維，可以在高真空下測量反射、透射光譜。
另外，膜厚運算不易受到基膜的上下移動的影響，并且采用精度良好的薄膜測量大冢電子獨自的算法，可以作為實時監視器使用。
產品規格
MCPD-9800仕様
| 型號 | MCPD-9800 | ||||
2285C | 3095C | 3683C | 311C | 916C | |
| 測量波長范圍（nm） | 220～850 | 300～950 | 360～830 | 360～1100 | 900～1600 |
| 膜厚范圍※ | 65nm～35μm | 65nm～50μm | 65nm～45μm | 65nm～49μm | 180nm～92μm |
| 膜厚/反射/透過/相位差 | 〇 | ||||
| 色測量 | 〇 | x | |||
| 掃描時間 | 5ms～20s | 1ms～10s | |||
| 光斑直徑 | φ1.2mm | ||||
| 光纖長度 | 1m～長度需相商 | ||||
※膜厚值n=1.5的換算。由式樣而定
MCPD-6800仕様
| 型號 | MCPD-6800 | |||
2285C | 3095C | 3683C | 3610C | |
| 測量波長范圍（nm） | 220～850 | 300～950 | 360～830 | 360～1000 |
| 膜厚范圍※ | 65nm～35μm | 65nm～50μm | 65nm～45μm | 65nm～49μm |
| 膜厚/反射/透過/相位差/色測量 | 〇 | |||
| 掃描時間 | 16ms～65s | |||
| 光斑直徑 | φ1.2mm | |||
| 光纖長度 | １ｍ～ 長度需相商 | |||
※膜厚值n=1.5的換算。由式樣而定
